超純水水質(zhì)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
離子交換方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點
間歇式離子交換
這種操作方式是將離子交換樹脂和待處理的原水混合加以適當(dāng)攪拌，基本達到交換平衡，使平衡后的水質(zhì)萍蹤設(shè)計需求。此方式通常用于小型生產(chǎn)或?qū)嶒炐枰?br /> 固定床離子交換
是一種常用的離子交換方式，是將離子交換樹脂置于交換柱內(nèi)，被處理的原水以一定流速流經(jīng)樹脂床層，達到交換目的。此方式設(shè)備簡單，操作方便，實用于各種規(guī)模的生產(chǎn)，但是其樹脂的利用率較低，再生費用較高。
雙級反滲透方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。
EDI方式
EDI超純水設(shè)備技術(shù)的優(yōu)點
EDI超純水設(shè)備被行業(yè)、微電子行業(yè)、發(fā)電行業(yè)和實驗室所普遍接受。在表面清洗、表面涂裝、電解行業(yè)、化工行業(yè)和太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。
EDI可代替?zhèn)鹘y(tǒng)的混合離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的去離子水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有以下優(yōu)點：
1.離子交換樹脂的用量少，約相當(dāng)于傳統(tǒng)離子交換法樹脂用量的5%。
2.離子交換樹脂不需酸，堿化學(xué)再生，節(jié)約大量酸、堿和清洗用水，大大降低勞動強度。
3.無廢酸、廢堿液排放，是清潔的生產(chǎn)技術(shù)，屬環(huán)保產(chǎn)品。
4.過程易實現(xiàn)自動控制，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定，與RO等水處理技術(shù)相結(jié)合，能形成完善的純水、超純水生產(chǎn)線。
5.產(chǎn)水水質(zhì)高，可達到國家電子級水I級標(biāo)準(zhǔn)，電阻率為15～18MΩ·cm，細菌內(nèi)毒素 含量小于0.1mg/L可完全滿 足《中國藥典》《美國藥典》對藥用水的要求。
6.有的除弱解離物質(zhì)（如、硅、硼、氨等）地能力，更適用于超純水的需要。
7.純水生產(chǎn)過程連續(xù)進行，無需像離子交換床那樣一套在用一套再生地重復(fù)設(shè)置
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