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浮力提拉單晶爐提拉機構特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設計成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視?？墒?FTD在問世以后,卻沒有進行深入探討。雖然FTD的設計有過幾次變化,但由于沒有掌握設計的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機構的設計要領。希望這-一卜作能夠推動FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。} 
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數(shù)值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節(jié)的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。數(shù)值模擬是當實驗的費用太昂貴或無法常規(guī)進行時一種非常有用或的方法。舉例來說，對于無經(jīng)驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場對晶體直徑，質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優(yōu)化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線，可以在實際生產(chǎn)中是完全可以生長出合格的單晶棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內(nèi)的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經(jīng)輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據(jù)權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)
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