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根據(jù)權利要求4所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)的上端部(2-4)的外壁與該爐的保溫筒(17)密封連接。6、 根據(jù)權利要求5所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)各通氣孔(2-3)與該爐的排氣口 (13)通過通氣管(19) 相連通。7、 根據(jù)權利要求6所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導向裝置(20)由石墨制成。
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