聚四氟乙烯,英文縮寫為PTFE,俗稱"塑料王",、是一種使用了氟取代聚乙烯中所有氫原子的人工合成高分子材料。一般稱作“不粘涂層”或“易清潔物料”。這種材料具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑的特點,幾乎不溶于所有的溶劑。同時,聚四氟乙烯具有耐高溫的特點,它的摩擦系數(shù)極低,所以可作潤滑作用之余,亦成為了易清潔水管內(nèi)層的理想涂料。
耐高溫、耐腐蝕,具有優(yōu)良的電絕緣性、耐老化,吸水性小、自潤滑性能,是一種適用于各種介質(zhì)的通用型潤滑性粉末,可快速涂抹形成干膜,以用作石墨、鉬和其他無機潤滑劑的代用品。適用于熱塑性和熱固性聚合物的脫模劑,承載能力優(yōu)良。在彈性體和橡膠工業(yè)以及防腐中廣泛使用。
用途:用于半導體硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃,太陽能電池片花藍、太陽能硅片花藍_太陽能硅片承載器、光伏電池片花藍、光伏硅片花藍,用于太陽能電池硅片清洗設(shè)備中,用于承載方形太陽能電池硅片。
晶圓單片清洗花籃,包括調(diào)節(jié)桿和托盤,調(diào)節(jié)桿包括圓柱桿和第二圓柱桿,第二圓柱桿和托盤固定連接,托盤底部設(shè)有通孔,托盤邊緣設(shè)有環(huán)形凸起,環(huán)形凸起上設(shè)有若干個缺口,托盤上設(shè)有臺階,且臺階位于環(huán)形凸起上的一個缺口上,托盤上圓周分布有三個擋板,擋板下端固定連接有限位塊,限位塊下端固定連接有定位塊,擋板滑動連接有滑動凹槽,限位凹槽上均勻的設(shè)有多個定位凹槽,定位凹槽的大小與定位塊相匹配。
大直徑晶片的清洗采用上述方法不好其清洗過程的完成,通常采用單晶片清洗法,其清洗過程是在室溫下重復利用DI-O 3/DHF清洗液,臭氧化的DI水(DI-O3 )產(chǎn)生氧化硅,稀釋的HF蝕刻氧化硅,同時清除顆粒和金屬污染物。根據(jù)蝕刻和氧化的要求采用較短的噴淋時間就可獲得好的清洗效果,不會發(fā)生交叉污染。后沖洗不是采用DI水就是采用臭氧化DI水。為了避免水漬,采用濃縮大量氮氣的異丙基乙醇(IPA)進行干燥處理。單晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果,清洗過程中通過采用DI水及HF的再循環(huán)利用,降低化學品的消耗量,提高晶片成本效益。
隨著材料應(yīng)用技術(shù)的不斷發(fā)展,PTFE材料的三大缺點:冷流性、難焊接性、難熔融加工性正在逐漸被克服,從而使它在光學、電子、醫(yī)學、石油化工輸油防滲等多種領(lǐng)域的應(yīng)用前景更加廣闊。
PTFE在化工中的另一大應(yīng)用是密封材料。由于聚四氟乙烯綜合性能良好,是任何一種密封材料都不可比擬的, 它可用于各種苛刻場合的密封,尤其是對于高溫、耐腐蝕性要求較高時。聚四氟乙烯生料帶纖維長、強度高,而且塑性大、壓延性好,施加較小的壓緊力就可完全密封,操作應(yīng)用方便,用在凹凸不平或結(jié)構(gòu)精密的表面更顯其,具有很好的密封性能并且可提高抗腐蝕能力, 擴大其使用范圍。
滑動部件的密封使用PTFE填料,可以獲得良好的耐腐蝕穩(wěn)定性, 而且它具有一定壓縮性回彈性、滑動時阻力小。填充PTFE密封材料使用溫度范圍廣泛, 是目前傳統(tǒng)石棉墊片材料的主要替代物, 更兼有高模量、高強度、抗蠕變、耐疲勞、以及導熱率高、熱膨脹系數(shù)和摩擦系數(shù)小等性能,加入不同的填充料更可擴大應(yīng)用范圍。
PTFE的機械性能相對于其他塑料差一些,但在-73℃至204℃寬溫度范圍內(nèi),其性能仍保持在有用的水平。通常通過添加一些填充物來增加其機械性能,它具有非常的熱電絕緣性能并且摩擦系數(shù)很低。PTFE非常致密且不能進行熔融加工,將其壓縮并燒結(jié)以形成有用的形狀。
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