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無塵室的建設(shè)及驗收標(biāo)準(zhǔn)
一、無塵室的定義
無塵室（Clean Room）是指空氣無塵度達到規(guī)定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。無塵室主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
二、無塵室的結(jié)構(gòu)組成
無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等； (3)隔墻板：包括窗戶、門；
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板； (5)照明器具：包括日光燈、燈管等；
無塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小； D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；
以上信息概括為：①組合式FFU機組 ②無塵送風(fēng)管道?、蹮o塵回風(fēng)管道 ④送風(fēng)靜壓箱 ⑤過濾器 ⑥多孔擴散板⑦無塵室吊頂 ⑧無塵室隔斷 ⑨送風(fēng)口 ⑩新風(fēng)口
三、無塵室的等級
1、無塵室等級均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
2、209E與209D等大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無塵室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5….表示。
3、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，好的等級為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
四、無塵室控管的項目
1. 能除去空氣中飄游的微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子的產(chǎn)生。 3. 溫度和濕度的控制。
4. 壓力的調(diào)節(jié)。 5. 有害氣體的排除。 6. 結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。
7. 靜電的防制。 8. 電磁干擾預(yù)防。 9. 安全因素的考慮。 10. 節(jié)能的考量
五、無塵室之分類
5.1 亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級1,級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之無塵度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
5.2 層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無塵度，在制程 中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
5.3 復(fù)合式(Mixed Type)：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超無塵之空氣。
(1)無塵隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使無塵度等級提高至10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
無塵隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)無塵管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將無塵度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無塵度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部無塵室(Clean Spot)：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無塵度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；無塵工作臺、無塵工作棚、無塵風(fēng)柜即屬此類。
無塵工作臺：等級Class 1~100級。
無塵工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較之無塵空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
六、無塵室氣流之流動
無塵室的無塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持無塵空間，因此利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的無塵度水準(zhǔn)之時，能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達到經(jīng)濟性效果。
另一方面欲達到無塵室無塵度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高無塵度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目般無塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之無塵度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
七、無塵室工程施工
1．無塵室施工應(yīng)在土建工程完成，清潔好現(xiàn)場后進行
2．無塵室施工應(yīng)按一定程序進行，就避免系統(tǒng)安裝時的帶塵作業(yè)，安裝過濾器或送風(fēng)末端時，避免帶塵作業(yè)。
3．無塵室施工程序見下圖（其他用房可參照此程序）。
4．施工安裝過程中隨時做好以下記錄
(1)土建隱蔽工程記錄 (2)管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄 (3)設(shè)備開箱檢查記錄 (4)管道壓力試驗記錄 (5)管道純氣系統(tǒng)吹洗記錄 (6)風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7)風(fēng)管清掃記錄 (8)設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)記錄 (9)系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)記錄 (10)中間驗收單
八、無塵室工程評定
無塵室工程驗收，一般由法人組織驗收平定組進行現(xiàn)場檢查。現(xiàn)場檢查發(fā)現(xiàn)的工程缺陷分為嚴(yán)重缺陷和一般缺陷：凡關(guān)鍵項目不完整、不的屬嚴(yán)重缺陷；凡一般項目不完整、不的屬一般缺陷。
驗收時不應(yīng)有嚴(yán)重缺陷，一般缺陷比例不超過檢查項目的20%。
如果雖然無嚴(yán)重缺陷，但一般缺陷超過20%～40%，或嚴(yán)重缺陷不超過3項，一般缺陷比例不超過20%，一般會限期改正。嚴(yán)重缺陷和一般缺陷超過以上數(shù)值，通過的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢測檢查。
九、無塵車間設(shè)計及驗收規(guī)范
無塵車間作為一個“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點，盡管任何建筑工程都包括設(shè)計、竣工驗收、日常維護等環(huán)節(jié)，但是無塵車間還需要通過調(diào)試、檢測和綜合評價予以確認(rèn)，絕不可草率行事，匆匆投入運營。
9．1 無塵車間設(shè)計內(nèi)容有：
1. 合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構(gòu)造和材料；
3. 無塵車間設(shè)計應(yīng)依據(jù)當(dāng)時當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備；
無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進行。
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無塵車間安裝
總體安排和要求
1、本安裝工程質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：合格
2、工期安排：嚴(yán)密配合土建施工，并隨土建總體計劃與進度情況變化而調(diào)整安裝工程進度計劃，確保安裝工程為結(jié)施與建施順利進行，并確保圓滿完成任務(wù)。
3、根據(jù)本工程特性，制訂施工方案原則是先地下部分安裝，后地上部分，先主管后支管。管道安裝遵循如下原則：小管讓大管，支管讓主管；有壓力管讓無壓力管；一般管道讓保溫管道。所有在樓板內(nèi)的管道配合土建主體施工后再配套進行安裝，并與室外配套安裝工程相結(jié)合的進行安裝施工。
管理機構(gòu)及施工人員設(shè)置無塵車間安裝
項目主管：負(fù)責(zé)施工人員的調(diào)配工作，根據(jù)工程項目的總體計劃，擬定工程進度計劃及材料進場計劃，對項目的質(zhì)量、進度、安全等負(fù)全面責(zé)任。
技術(shù)主管：負(fù)責(zé)技術(shù)管理工作，對施工人員進行技術(shù)交底，按設(shè)計圖紙及施工規(guī)范要求施工，解決施工中的疑難問題，并經(jīng)常與設(shè)計院，甲方等部門及密切聯(lián)系，處理各種技術(shù)問題，收集保管各種技術(shù)資料。
質(zhì)量安全檢查員：負(fù)責(zé)質(zhì)量、安全、檢查監(jiān)督工作，以常深入工地，做好檢查記錄，做到層層把關(guān)，避免返工，質(zhì)量，使工程質(zhì)量達到良。
施工組長：負(fù)責(zé)組織施工人員完成施工計劃，按施工圖規(guī)范要求進行施工，施工中遇到的疑難問題及時與項目主管及技術(shù)員聯(lián)系，共同協(xié)商解決。
1、配合階段
閱圖→提出問題→解決問題→主體施工配合，注意預(yù)留孔洞、套管、槽位留置及埋件埋設(shè)，墻體及樓板內(nèi)管道安裝設(shè)置，清理洞槽、套管等。
2、安裝階段無塵車間安裝
生活給水、生活污水、雨排水管道的安裝→試壓、隱蔽驗收、灌閉水試驗→水泵安裝、衛(wèi)生潔具安裝、設(shè)備試運轉(zhuǎn)。
3、驗收階段
通水試驗、沖洗消毒、竣工驗收
三、質(zhì)量措施
1、嚴(yán)格按規(guī)范及設(shè)計要求施工，對設(shè)計不詳者，施工圖部分與實際不符者或發(fā)生矛盾時，由甲方、監(jiān)理、設(shè)計院、乙方共同協(xié)商解決，嚴(yán)禁擅自修改與自作主張進行變更。
2、嚴(yán)格管理，精心組織施工，建立質(zhì)量管理體系，密切配合土建施工，對上道工序未完者，不能進入下道工序施工。發(fā)現(xiàn)問題及時整改，建立質(zhì)量、安全施工記錄檔案，堅持質(zhì)量"三檢制度"各工序完畢按施工工序進行各種驗收記錄與作好工作。
3、把好材料、設(shè)備、器具等質(zhì)量關(guān)，凡需送檢的按規(guī)定要求送檢。凡甲方、乙方供應(yīng)的材料、成品、半成品均應(yīng)附有出廠合格證及檢驗書，不符合國家有關(guān)產(chǎn)品材質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)要求的不得使用。材料代用經(jīng)設(shè)計院、甲方、認(rèn)定同意并簽章后方可實施。
四、文明施工與安全技術(shù)措施
1、要求做好安全文明施工，施工現(xiàn)場院要保持整潔，堆放合理，非施工人員嚴(yán)禁進入工地，施工用電及生產(chǎn)符合規(guī)范規(guī)定。
2、凡未經(jīng)過""教育者，不得進入施工現(xiàn)場，進入施工現(xiàn)場戴安全帽，高空危險作業(yè)需系安全帶，嚴(yán)禁穿拖鞋。
3、工長檢查施工用具是否完好，安全，施工班組堅持每周的安全教育學(xué)習(xí)，各種機具需注意保養(yǎng)，用電設(shè)備要做到"一機、一閘、一漏電"，保護開關(guān)，所有用電設(shè)備要有接地保護裝置，嚴(yán)禁私接電線，使用電爐等。
4、使用套絲機操作時，管長超過2m時要在另一端設(shè)置牢固的支架支撐，凡換管或施壓力時，均需停機操作，操作中不準(zhǔn)戴手套，并應(yīng)將袖口扎緊。
5、使用砂輪切割機時，應(yīng)對砂輪片進行檢查，安裝要牢固，并隨時對機械狀況進行檢查，在運轉(zhuǎn)中，上部壓力要適中，不可過猛，以防卡片或片裂傷人并損壞機械。
6、經(jīng)常檢查氣焊輸氣管是否有破裂、損傷。在使用氣焊中隨時檢查氣瓶是否漏氣，氧氣瓶與乙炔瓶不宜放置太近，間距應(yīng)大于5m。
7、電焊一、二次電源接頭處有防護裝置，二次線使用線鼻子，電、氣焊遵守"十不燒"規(guī)程操作。
8、垂直運輸嚴(yán)禁物下站人，機、吊繩、滑輪等要事先檢查，并安全可靠，人工水平運輸要注意配合，工地行走要注意上避碰頭，下避扎腳、防滑、踏空。
6.2.14、防止質(zhì)量通病的措施
6.2.14.1、防止水平縫砂漿飽滿度低于80%。
1、改善砂漿和易性，采用塑化劑，材料應(yīng)有防風(fēng)干的措施。
2、選用325#水泥配制砂漿，嚴(yán)格執(zhí)行施工配合比，要砂漿攪拌時間。
3、每砌完一步架墻體，應(yīng)進行豎縫的原漿刮縫和塞縫。
6.2.14.2、防止柱主筋偏位，骨架歪斜的措施。
1、柱子鋼筋外伸部分應(yīng)設(shè)置附加箍筋。
2、砼澆筑時，振動機頭或下料斗盡可能避免碰撞鋼筋。
3、加強鋼筋骨架成型后產(chǎn)品的保護，嚴(yán)格按設(shè)計規(guī)定要求設(shè)置附加構(gòu)造鋼筋和箍筋。
6.2.14.3、防止砼出現(xiàn)蜂窩麻面、露筋現(xiàn)象的措施。
1、模板清理干凈，不得有雜物，控制拆模強度。
2、模板拼縫嚴(yán)密，柱應(yīng)分層振搗密實，梁柱結(jié)合處要選擇合理骨料，澆注欄板時易采用刀片式振動棒。
3、澆、搗砼時，應(yīng)檢查鋼筋位置，嚴(yán)格振動棒撞擊鋼筋。
4、木模在澆筑砼前，應(yīng)用清水充分濕潤，清洗干凈，不留積水，使模板縫隙拼接嚴(yán)密。如有縫隙，應(yīng)用油氈條、塑料條、纖維板或水泥砂漿等堵嚴(yán)，防止漏漿。
5、澆筑砼前應(yīng)檢查鋼筋位置和保護層厚度是否準(zhǔn)確，發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)及時修整。
6、操作時不得踩踏鋼筋，如鋼筋有踩彎或脫扣者，應(yīng)及時調(diào)直，補扣綁好。
7、砼攪拌時自由傾落高度一般不得超過2m。澆筑樓板砼時，自由傾落高度不宜1m。如超過上述高度，要采取串筒、溜槽等措施下料。
6.2.14.4、防治磚墻、混凝土基層抹灰空鼓、裂縫措施。
1、砼表面的油污、油漆隔離劑等，均應(yīng)在抹灰前清除干凈。
2、對不平整的基層，應(yīng)事先剔平或用砂漿補平。
3、抹灰前墻應(yīng)澆水潤濕，如果各抹灰層相隔時間較長，或抹上的砂漿已干掉，則應(yīng)在底層灰上澆水潤濕，避免剛抹的砂漿中的水分被底層吸起，產(chǎn)生空鼓。
4、抹灰用的砂漿具有良好的和易性，并具有一定的粘法強度。
5、抹灰用的原材料和使用砂漿應(yīng)符合質(zhì)量要求。并且抹灰用的砂漿應(yīng)在拌合后3h或4h內(nèi)使用完畢，盡可能做到隨拌隨用。
6、當(dāng)基層墻面平整和垂直偏差較大，局部抹灰厚度較厚時，一般每次抹灰厚度應(yīng)控制在8~10mm為宜。中層抹灰分若干次抹平。
7、門窗框塞縫應(yīng)作為一道主要工序由專人負(fù)責(zé)。抹灰前先將砂漿用小鎦子將門窗框與墻體間的縫隙全部塞實塞嚴(yán)，待達到一定強度后再用水泥砂漿找平。
6.2.14.5、模板工程質(zhì)量通病的防治措施。
1、模板軸線放線后，要有專人進行技術(shù)復(fù)核，無誤后才能支模。
2、模板及支架系統(tǒng)設(shè)計時，應(yīng)考慮其本身自身，施工荷載及砼澆搗時側(cè)向壓力和振搗時產(chǎn)生的荷載，以模板及支架有足夠的承載能力和剛度。
6.2.14.6、防止墻體、砼基層抹灰空鼓的技術(shù)組織措施。
1、抹灰前的基層處理是確保抹灰質(zhì)量的關(guān)鍵之一，認(rèn)真做好：
1）混凝土、磚石基層表面的砂漿殘渣污垢、隔離劑油污、析鹽、泛堿等，均應(yīng)事先清除干凈。一般對油污隔離劑可先用5~10%濃度的火堿水清洗，然后再用清水洗凈；對于析鹽、泛堿的基層，可用3%草酸水清洗。基層表面凹凸明顯的部位，應(yīng)事先剔平或用1：3水泥砂漿補平。使用定型組合鋼?；蚰z合板底模施工，混凝土面層過于光滑的基層，要事先鑿毛，再用1：1水泥摻10%的107膠先薄薄抹一層粘結(jié)層（厚約3mm），24h后再進行抹灰。也可采取不鑿毛處理的辦法，先在光滑的混凝土基層刷素水泥底漿一道，素漿用1：3~1：4的乳膠水拌合，刷漿時要適當(dāng)加壓，隨即底層抹灰，以1：2：5：~1：3的水泥砂漿用1：4乳膠水拌合，厚度不超過5mm，抹平掃毛經(jīng)24h后，不等底層發(fā)白再進行抹灰。
2）墻面腳手孔洞應(yīng)堵塞嚴(yán)密；水暖、通風(fēng)管道通過的墻洞和剔墻管槽，用1：3水泥砂漿堵嚴(yán)抹平。
3）不同基層材料如木基層與磚面、混凝土基層相接處，應(yīng)鋪釘金屬網(wǎng)，搭接寬度應(yīng)從相接處起，兩邊不小于10mm。
2、抹灰前墻面應(yīng)澆水。磚墻基層一般澆水二遍，磚面滲水深度約8~10mm，即可達到抹灰要求。加氣混凝土表面孔隙率大，但該材料毛細(xì)管為封閉性和半封閉性，阻礙了水分滲透速度，它同磚墻相比，吸水速度約慢3~4倍，因此，應(yīng)提前兩天進行澆水，每天三遍以上，使?jié)B水深度達到8~10mm。混凝土墻體吸水率低，抹灰前澆水可以少一些。如果各層抹灰相隔時間較長，或抹上的砂漿已干掉，則抹上一層砂漿的應(yīng)將底層澆水潤濕，避免剛抹的漿中的水分被底層吸走，產(chǎn)生空鼓。此外，基層墻面澆水程度，還與施工季節(jié)、氣候和室內(nèi)外操作環(huán)境有關(guān)，應(yīng)根據(jù)實際情況酌情掌握。無塵車間安裝
3、抹灰用的砂漿具有良好的和易性，并具有一定的粘結(jié)強度。無塵車間安裝
4、抹灰用的原材料和使用砂漿應(yīng)符合質(zhì)量要求。由于砂漿強度會隨著停放時間延長而降低，一般在20~30攝氏度的情況下，水泥石灰砂漿在4~6h后強度降代20~30%，10h后降低50%以上。因此抹灰用的水泥砂漿和混和砂漿應(yīng)分別在拌合后3h和4h內(nèi)使用完畢，盡可能做到隨拌隨用。
5、底層砂漿與中層砂漿的配合比應(yīng)基本相同。中層砂漿不能底層，底層砂漿不能基層墻體，以免在凝結(jié)過程中產(chǎn)生較強的收縮應(yīng)力，破壞強度較低的基層（或抹灰底層），產(chǎn)生空鼓、裂縫、脫落等質(zhì)量問題。
公司主要從事凈化工程咨詢、凈化工程設(shè)計施工(手術(shù)室凈化、層流手術(shù)室、凈化手術(shù)室、十萬級凈化車間、無菌實驗室以實驗臺)及配套凈化裝飾工程的公司，專為醫(yī)藥、、生物制藥GMP凈化、精密電子、食品、化學(xué)、生物、研究院所及其它高科技行業(yè)等領(lǐng)域凈化設(shè)計施工、測試、維護，并且提供與潔凈室相關(guān)的材料、設(shè)備、監(jiān)測裝置及家具等。河南晶立方凈化工程有限公司，成立于二零一八年，注冊資金五百萬元，以“科技為先，以人為本”的經(jīng)營宗旨；“立足河南，服務(wù)全國”的經(jīng)營理念。公司將秉持初心、 誠信做人、嚴(yán)謹(jǐn)做事、謁誠為廣大新老客戶提供貼心服務(wù)，實實在在化的設(shè)計施工，為您實現(xiàn)藍圖。
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無塵車間的安裝系統(tǒng)維護保養(yǎng)管理
清潔要求
（1）、清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布；
（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；
（3）、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑；
（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。
（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。
（6）、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。
（7）、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過濾器的真空吸塵器。
（8）、所有的門都需要檢查并擦干
（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
（12）、工作時一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
無塵車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明。
無塵車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之有三：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進出無塵車間安裝之各項規(guī)定，且負(fù)責(zé)應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無塵車間安裝工具組，但不得帶出無塵車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點。
c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動化與無塵化：
a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當(dāng)昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進入無塵車間安裝人員的限定，無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面敘述，此處不再說明。
在無塵車間安裝之維護管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理：
無塵車間安裝內(nèi)之運轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測，以確實掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。
b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風(fēng)機之管理：定期檢查送風(fēng)機運轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機之各項檢查內(nèi)容及周期。
e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測試及量測儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
i.無塵車間安裝停止運轉(zhuǎn)再開機要點管理：啟動后立即進行微塵粒子之測試，須無塵車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。
無塵車間安裝內(nèi)用品的管理
無塵車間安裝內(nèi)用品除了進出無塵車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵車間安裝內(nèi)進行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為無塵車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運車則以構(gòu)造簡單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車時不得運推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高無塵車間安裝內(nèi)使用，必要時可在更衣室等無塵車間安裝較低等級的區(qū)域使用白板。無塵車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取無塵車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚，以達到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響無塵車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之無塵車間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時，須注意排氣旦之控制避免使無塵車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵車間安裝內(nèi)，故不可移至室外使用，若不用時應(yīng)置于較低等級的無塵車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。
無塵車間的分類：
1.亂流式（Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
2.層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式（Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
無塵車間的構(gòu)成：
一般情況下，無塵車間是指器械生產(chǎn)和檢驗所需的工作環(huán)境，對于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對應(yīng)的功能間，如注塑間、干燥間等；對于檢驗環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與檢驗有關(guān)的功能間，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等；為生產(chǎn)服務(wù)的功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。
無塵車間的氣流組織形式是實現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。
無塵車間的氣流應(yīng)滿足潔凈度和人體健康的要求，如關(guān)鍵工作操作點應(yīng)位于潔凈空氣流的上風(fēng)側(cè)，對散發(fā)有害物質(zhì)的工作點，人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對的下風(fēng)側(cè)。應(yīng)使無塵車間氣流流
向單一。非單向流無塵車間內(nèi)設(shè)置操作臺時，其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風(fēng)口附近，因為回風(fēng)口處的潔凈度比較差?；仫L(fēng)口應(yīng)均勻布置在無塵車間的下部，高度應(yīng)低于工作臺面。無塵車間內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時，其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風(fēng)側(cè)，以免氣流短路。
無塵車間通道設(shè)計：
設(shè)計: 操作人員是各種污染物的攜帶者，所以人員在進入凈化車間前要進行人身處理，使之達到凈化要求，筆者認(rèn)為一般是通過采用人員換鞋，更衣及風(fēng)淋處理等措施達到凈化要求后再進入潔凈區(qū)，核心生產(chǎn)潔凈室南側(cè)支持區(qū)為非潔凈區(qū)，與核心區(qū)聯(lián)系緊密，設(shè)有生產(chǎn)辦公室，潔凈區(qū)的就設(shè)置在這邊，操作人員人身凈化程序如下：換鞋，二次更衣，穿潔凈服，進入潔凈前室，經(jīng)過風(fēng)淋室通道，進入凈化車間。
物流設(shè)計: 貨物搬入的凈化處理也至關(guān)重要，通過設(shè)置閘間將潔凈區(qū)和設(shè)備搬聯(lián)系起來，閘間內(nèi)設(shè)有空氣吹淋設(shè)施。貨物由北側(cè)支持區(qū)設(shè)備搬搬入，拆包預(yù)裝后，經(jīng)過閘間吹淋后進入潔凈區(qū)。潔凈由于氣流組織的需要，潔凈區(qū)內(nèi)地面設(shè)置了高架地板，高架地板的選型也是物流通道要考慮的因素，因此規(guī)劃好物流搬入路線，使搬入通道上的地板承載力滿足要求，也是不能忽視的?！ ?br />
氣流設(shè)計: 氣流組織在凈化車間設(shè)計中占有重要地位，空氣凈化一般通過過濾空氣，氣流組織，空間靜壓等措施達到潔凈室內(nèi)環(huán)境的要求。一般采用初效，中效，過濾系統(tǒng)，上送下回垂直單項氣流組織形式。頂棚上部為靜壓箱，氣流由靜壓箱，通過過濾器加壓過濾后進入潔凈區(qū)，流經(jīng)生產(chǎn)操作區(qū)域，再通過地面開孔架空地板進入下技術(shù)夾層，再通過側(cè)墻的回風(fēng)夾道回到空調(diào)器。
無塵車間結(jié)構(gòu)材料：
1.電子廠凈化車間墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“橡塑”阻燃型的保溫板做保溫。
4.地面可采用高架地板、環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
5.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
凈化車間技術(shù)要求：
1.電子凈化車間萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)
2.電子凈化車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3.電子凈化車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
4. 電子凈化車間萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的大值：補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和； 供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
5.電子凈化車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項大值：電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定潔凈室的送風(fēng)量，向電子制造廠潔凈室給的新鮮空氣量：
無塵車間室內(nèi)裝修：
1、無塵車間的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。
2、無塵車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求；應(yīng)減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用于操作；如為抹灰時，應(yīng)采用抹灰標(biāo) 準(zhǔn)。
3、無塵車間的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。
4、無塵車間技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi) 更換空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并 應(yīng)易于除塵。
5、潔凈廠房和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
6、潔凈廠房內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。
7、無塵車間門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙， 均應(yīng)采取可靠的密封措施。
8、潔凈廠房內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)， 頂棚和墻面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。
無塵車間空氣凈化：
1、無塵車間內(nèi)有多種工序時，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。
2、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈廠房的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。
3、層流潔凈廠房和亂流潔凈廠房以及運行班次和使用時間不同的潔凈廠房，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。
4、無塵車間內(nèi)應(yīng)一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的大值；亂流潔凈廠房總送風(fēng)量的10%～30%，層流潔凈廠房總送風(fēng)量的2～4%；補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
5、潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈廠房內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。
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