化學(xué)組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。

濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因?yàn)槭敲}沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

眾所周知，真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運(yùn)行，有必要對真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)。那么，你知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)的意義嗎?　　設(shè)備的日常維護(hù)就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異常現(xiàn)象，盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油量減少，應(yīng)該添加。不要認(rèn)為應(yīng)該定期換油。否則，在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，泵的轉(zhuǎn)子可能會(huì)嚴(yán)重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴(yán)重了，可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問題。

定期保養(yǎng)，有人會(huì)問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實(shí)上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命。例如，用于擴(kuò)散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們早點(diǎn)換掉它。這是浪費(fèi)嗎?不，在生產(chǎn)中，設(shè)備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護(hù)和定期保養(yǎng)，不僅可以延長設(shè)備的使用壽命，還可以減少運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。

在鍍膜的過程中，由于工件內(nèi)氣體的受熱膨脹，很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開裂。當(dāng)然，這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的，比如塑料，概率就比較高，而對于堅(jiān)硬的材料，比如金屬，概率就比較低，但也不能忽略。因此，工件的除氣是非常必要的。

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