掃描電鏡結(jié)合能譜可以對出土的文物進(jìn)行無損的顯微結(jié)構(gòu)分析和化學(xué)成分鑒定。它可對金幣、銀幣和銅幣表面進(jìn)行分析，確定其金、銀和銅純度及含量，為分析當(dāng)時的鑄造工藝提供證據(jù)；可分析古字畫、窯胎釉所用顏料的種類和配比。為進(jìn)一步判斷其來源和破解制備工藝提供參考；可分析織物，判定織物材質(zhì)，織法工藝，為織物的保護(hù)和修復(fù)提供有力幫助
掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大數(shù)百倍。由于圖像景深大，因此掃描得出的電子像富有立體感，具有三維形態(tài)。相較于其他顯微鏡，能夠提供更多的信息。
在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用，被廣泛應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
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