高密度的金剛石顆??梢匝娱L劃片刀的壽命,同時也可以減少晶圓背面崩角。而低密度的金剛石顆??梢詼p少正面崩角。硬的粘結(jié)材料可以更好地“固定”金剛石顆粒,因而可以提高劃片刀的壽命,而軟的粘結(jié)材料能夠加速金剛石顆粒的“自我鋒利”(Self Sharpening)效應(yīng),令金剛石顆粒保持尖銳的棱角形狀,因而可以減小晶圓的正面崩角或分層,但代價是劃片刀壽命的縮短。刀鋒的長度應(yīng)根據(jù)晶圓的厚度,承載薄膜的厚度,大允許的崩角的尺寸來進(jìn)行定義,刀鋒不能選得過長,因為長的刀鋒會在切割時引起刀片的擺動,會導(dǎo)致較大的崩角。
劃片機(jī)一般提供兩種切割模式,單刀切割(Single Cut)和臺階式切割(Step Cut),實驗證明,劃片刀的設(shè)計不可能同時滿足正面崩角、分層及背面崩角的質(zhì)量控制的要求。這個結(jié)論對于晶圓厚度大于7 mil的低k晶圓尤為適用。為了減小正面金屬層與ILD層的分層,薄劃片刀會被采用,若晶圓較厚,則需選取刀鋒較長的刀片。但須注意,具有較高刀鋒/刀寬比的劃片刀在切割時會產(chǎn)生擺動,反而會造成較大的正面分層及背面崩角。
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通常在切割前會在晶圓背部貼上UV膜或藍(lán)膜,之后將貼有UV膜的晶圓放入劃片機(jī)中,設(shè)置好程序開始劃片,劃片結(jié)束后拿出晶圓,進(jìn)行解UV等工序。藍(lán)膜成本較低,但是需要通過機(jī)械手段+溫度輔助才能將芯片剝離;而UV膜粘性可以通過紫外線照射來改變。在劃片完成后,晶圓被暴露在紫外光下,這使得膜的粘性降低,從而容易地剝離芯片。
刀片主要由金剛石顆粒,結(jié)合劑等組成。結(jié)合劑用于固定刀片中的金剛石顆粒。因此,刀片的性能主要由金剛石顆粒尺寸,金剛石顆粒濃度,結(jié)合劑的種類決定。
我們一般根據(jù)結(jié)合劑類型將刀片分為硬刀和軟刀。軟刀通常使用樹脂作為結(jié)合劑,具有較好的柔韌性,一般用于切割硬脆材料,如石英、玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金,LT,LN,AlN等。而硬刀通常采用金屬結(jié)合劑或電鍍結(jié)合劑,這使得硬刀具有較高的剛性和耐磨性,適合切割較硬的材質(zhì),如硅片,PCB板等。
崩邊
正崩主要發(fā)生在晶圓的切割面(正面),背崩是指晶圓背面的崩邊。不管正崩與背崩,在晶圓劃片時都是不被允許的。崩邊產(chǎn)生的原因有:
1,不恰當(dāng)?shù)那懈顓?shù)導(dǎo)致崩邊
2,刀片磨損嚴(yán)重,鈍化的刀片邊緣增加了切割過程中的不規(guī)則作用力,從而增加了崩邊的可能性
3,刀片中的金剛石等磨料顆粒在切割過程中與晶圓表面材料發(fā)生撞擊,導(dǎo)致崩邊
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顆粒越大,刀片壽命越長;顆粒越小,刀片壽命越短。 顆粒集中度的影響 顆粒集中度對劃片質(zhì)量也非常關(guān)鍵。 關(guān)于相同的金剛石顆粒大小會消費出不同集中度的刀片,劃片效果也會有很大差別。 目前,劃片刀常見有5種規(guī)格,分別是:50、70、90、110、130。 依據(jù)實踐測試得出,高集中度的金剛石顆粒,劃片阻力小,劃片速度快,,還能夠延長劃片刀的壽命,減少晶圓正面崩缺
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