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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。
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