掃描電鏡測(cè)試是一種重要的無(wú)損檢測(cè)方法，可以在不破壞樣品的情況下獲得其表面的詳細(xì)信息。這種測(cè)試方法對(duì)于研究材料的性能和應(yīng)用具有重要意義，可以為材料的研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)提供重要的技術(shù)支持。

掃描電鏡可以分析金屬材料表面磨損，腐蝕和形變（例如多晶位錯(cuò)與滑移）情況； 觀察金屬材料的斷口形貌，揭示其斷裂機(jī)理（解理斷裂，準(zhǔn)解理斷裂，韌窩斷裂，沿晶斷裂，疲勞斷裂）； 鋼鐵產(chǎn)品質(zhì)量與缺陷分析（例如氣泡、顯微裂紋、顯微縮孔等）

掃描電鏡在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用，主要應(yīng)用于細(xì)胞或組織樣本表面超微結(jié)構(gòu)的觀察分析，例如細(xì)胞表面結(jié)構(gòu)，氣管，腸道，皮膚、納米藥物、生物醫(yī)學(xué)材料、細(xì)菌、真菌等。

掃描電鏡可以研究巖土組成，構(gòu)造和堅(jiān)固性?？捎脕?lái)觀測(cè)宇宙塵，隕石及月巖等的形態(tài)特征，構(gòu)造，以便對(duì)推斷其成因和認(rèn)識(shí)寧宙提供了有效資料；可以對(duì)古微生物化石形態(tài)，排列方式進(jìn)行研究，對(duì)測(cè)定地質(zhì)年代及地層形成古地理環(huán)境等提供數(shù)據(jù)。

掃描電鏡的工作原理 在高壓作用下，由于熱陰極發(fā)射出的電子經(jīng)陰極、柵極、陽(yáng)極之間的電場(chǎng)聚焦、加速，在柵極與陽(yáng)極之間形成一個(gè)具有很高能量的電子束斑，稱(chēng)之為電子源。這個(gè)電子束斑再經(jīng)聚光鏡壓縮，會(huì)聚成極細(xì)的電子束并聚焦在樣品表面上，這個(gè)高能量細(xì)聚焦的電子束在掃描線圈的作用下，在樣品表面上進(jìn)行掃描，與樣品相互作用，激發(fā)出各種物理信號(hào)。各種物理信號(hào)的強(qiáng)度與樣品的表面特征相關(guān)，可以用相應(yīng)的探測(cè)器分別對(duì)其檢測(cè)、放大、成像，用于各種微觀分析。掃描電子顯微鏡主要收集的信號(hào)是二次電子和倍射電子。

掃描電鏡主要用于：觀察納米材料，材料斷口的分析，直接觀察原始表面，觀察厚試樣，觀察各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)，大視場(chǎng)低放大倍數(shù)觀察，從高到低倍的連續(xù)觀察，觀察生物試樣，進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察，從形貌獲得資料等等。

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