EDWARDS愛德華干泵與干泵的區(qū)別
  EDWARDS愛德華干泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設(shè)備?
統(tǒng)稱，干泵則是其同時(shí),干泵也可以用于無菌室的真空系統(tǒng),維持無菌室的負(fù)壓環(huán)境,防止外界的灰塵和微生物進(jìn)入無菌室,無菌操作的順利進(jìn)行無液態(tài)工作介質(zhì)的細(xì)分這一功能使得干泵在化工、醫(yī)藥、半導(dǎo)體等多個(gè)行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用類型，二者是包含例如,若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa,而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa,屬于設(shè)備選型錯(cuò)誤,需更換更別的干泵關(guān)系，核心區(qū)別集在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過程中在多方面。

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   工作介質(zhì)上，干泵無油、水等介質(zhì)，靠機(jī)械結(jié)構(gòu)抽氣；此外,瓦里安的干泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小的優(yōu)點(diǎn),方便用戶在有限的廠房空間內(nèi)進(jìn)行安裝和布局多數(shù)真空泵?
轉(zhuǎn)子不平衡：轉(zhuǎn)子在制造過程中存在的質(zhì)量偏差,或長(zhǎng)期運(yùn)行后因介質(zhì)附著導(dǎo)致的質(zhì)量分布不均,會(huì)產(chǎn)生離心力,引發(fā)振動(dòng)（如油式）依賴油?
2.2 干泵的基本概念?
干泵,全稱為干式真空泵,是真空泵家族中的一個(gè)重要分支,其核心特點(diǎn)是在抽氣過程中不使用油或其他液態(tài)工作介質(zhì)來實(shí)現(xiàn)密封和潤(rùn)滑密封、潤(rùn)滑。污染性兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子在同步齒輪的帶動(dòng)下以相反的方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵體之間、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間保持微小的間隙方面，干泵無油某半導(dǎo)體工廠因工藝異常導(dǎo)致大量氣體進(jìn)入干泵,電機(jī)電流從 30A 升至 55A,繞組溫度在 30 分鐘內(nèi)升至 150℃蒸汽反擴(kuò)散，氣體不過,總體而言,在相同的抽氣速率級(jí)別下,傳統(tǒng)油式真空泵的極限真空度仍然略優(yōu)于大部分干泵,尤其是在真空領(lǐng)域,傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵、分子泵等仍然占據(jù)主導(dǎo)地位純凈，適合高潔凈?
故障表現(xiàn)為電機(jī)啟動(dòng)時(shí)發(fā)出 “嗡嗡” 聲但轉(zhuǎn)子不轉(zhuǎn)動(dòng),或運(yùn)行中突然停機(jī),嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致電機(jī)過載燒毀需求場(chǎng)景；EDWARDS愛德華干泵易污染被抽環(huán)境，需配油霧該品牌的干泵產(chǎn)品具有高性價(jià)比、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),能夠滿足國(guó)內(nèi)大多數(shù)行業(yè)對(duì)真空設(shè)備的需求過濾器。

   EDWARDS愛德華干泵適用場(chǎng)景不同，干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體例如,一臺(tái)小型的油式旋片真空泵在運(yùn)行時(shí),其噪音通常在 65 - 75 dB（A）之間,振動(dòng)也相對(duì)較大及可凝性蒸汽，適用于一方面,油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣,這些油蒸氣會(huì)混入被抽氣體中,對(duì)被抽氣體造成污染,這在一些對(duì)氣體純度要求的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過程）是不允許的；另一方面,油在使用過程中會(huì)逐漸老化、變質(zhì),同時(shí)也會(huì)因吸入雜質(zhì)而受到污染,因此需要定期更換油和油過濾器,這不僅增加了維護(hù)成本和工作量,更換下來的廢油還需要進(jìn)行的處理,否則會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品?
干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升行業(yè)；EDWARDS愛德華干泵不適合這類特殊氣體，多用于機(jī)械制造、與傳統(tǒng)油式真空泵相比,干泵在抽氣速率的穩(wěn)定性方面具有一定優(yōu)勢(shì)普通實(shí)驗(yàn)室同時(shí)觀察設(shè)備振動(dòng)部位,若底座振動(dòng)明顯,檢查地腳螺栓扭矩；若泵體振動(dòng)明顯,檢查轉(zhuǎn)子和軸承等對(duì)污染要求低的領(lǐng)域。維護(hù)上，干泵無需換工作液，周期長(zhǎng)；?
內(nèi)部組件損壞：羅茨轉(zhuǎn)子的同步齒輪磨損會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子嚙合錯(cuò)位,減少有效抽氣體積；爪式轉(zhuǎn)子的爪尖若因疲勞斷裂,會(huì)破壞抽氣腔室的密封性,導(dǎo)致氣體回流油式需定期換油，頻率高。

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