X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。樣品室常見的漏氣部位是樣品自轉(zhuǎn)裝置上的密封圈，樣品測量時通常以0.5轉(zhuǎn)/秒的速度自轉(zhuǎn)，儀器幾年運行下來，樣品自轉(zhuǎn)處的密封圈磨損，密封效果變差。
在低X射線光管功率情況下，選一個KKα計數(shù)率約2000CPS的樣品，測定計數(shù)率，然后用一個鉀含量高的樣品取代原樣品，將光管調(diào)到滿功率，保持2分鐘，再將X射線光管功率減至原值，測量個樣品，如窗膜導(dǎo)電正常，將得到原計數(shù)率，如窗膜導(dǎo)電性能變差，會發(fā)現(xiàn)計數(shù)率減小，然后慢慢回升至初始值，這時就應(yīng)調(diào)換窗膜。
RoHS檢測儀的基礎(chǔ)保養(yǎng)
1、專人負責(zé)儀器的操作和維護。
2、在沒有電磁干擾的環(huán)境下測試，如儀器附近不能有大功率的電機、電焊機等。
3、建議使用UPS（電源穩(wěn)壓器），保持電壓穩(wěn)定，以免對儀器部件造成損壞。
4、保持儀器的清潔和干燥。
5、請不要把儀器放在太臟或者太熱太冷的環(huán)境里。
6、請不要自行修理儀器。
7、測試后，請關(guān)閉蓋子，避免儀器受污染。
8、室內(nèi)溫度應(yīng)保持在 -11℃～46℃。
9、室內(nèi)濕度應(yīng)保持在 0～60%之間。
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