浙江海曙真空爐回收 浙江海曙整流柜回收
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直拉式單晶生長爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長爐的制作方法、技術領域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長爐。背景技術：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導流筒，IO為爐底護盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長過程中需要向爐內不斷充入，并與爐內生成的 一氧化硅及雜質粉塵混合，由于單晶爐內的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進一步為了方便外部加料器的移動、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅動外部加料器升降的加料器升降驅動裝置和用于驅動外部加料器旋轉的加料器旋轉驅動裝置，所述外部加料器通過加料器旋臂連接在加料器升降驅動裝置上，以便通過加料器升降驅動裝置驅動加料器旋臂升降，并通過加料器旋臂帶動外部加料器升降，所述加料器旋轉驅動裝置連接在加料器升降驅動裝置和加料器旋臂之間，以便加料器旋轉驅動裝置隨加料器旋臂一起升降，并通過加料器旋轉驅動裝置驅動加料器旋臂旋轉，加料器旋臂又帶動外部加料器旋轉。進一步提供了一種加料器升降驅動裝置的具體結構，所述加料器升降驅動裝置包括升降絲桿、拖板和絲桿旋轉驅動裝置，底座上設置有立柱，所述升降絲桿可旋轉地支承在立柱上，所述拖板通過螺紋連接在升降絲桿上，所述加料器旋臂連接在拖板上，所述升降絲桿連接在絲桿旋轉驅動裝置上，以便通過絲桿旋轉驅動裝置驅動升降絲桿旋轉，進而將升降絲桿的旋轉運動轉換為加料器旋臂的升降運動。
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提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機架：全鑄鐵機架和底座? 坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、
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