真空清掃是粗清掃和普通清掃常用的，一般區(qū)域和區(qū)域清掃中重要的步。真空清掃是水+拖把清掃的前提，對(duì)除去大顆粒異物，玻璃碎屑效果明顯，但是并不能取代水+拖把清掃。真空清掃請(qǐng)務(wù)必按同一方向進(jìn)行，以免造成地面及作業(yè)員周圍空氣亂流。真空清掃使用HEPA（濾網(wǎng)）、ULPA（低效濾網(wǎng)）及真空除塵器。如果有可吸入液體的真空吸濕器，在拖地時(shí)和拖完后，地面上剩余的水或浮游顆?？杀蝗コ?，起到干燥作用。

玻璃及玻璃產(chǎn)品的碎屑等大的廢棄物被真空吸塵器去除。吸不到的地方可以在進(jìn)行擦洗前進(jìn)行明確標(biāo)示。地面按照規(guī)定的流程使用濕式或者藥液清掃方式。清掃期間，采用純水或是藥液時(shí)，為降低污染應(yīng)該頻繁換水。對(duì)于大面積的地面，除了按照規(guī)定流程作業(yè)外，為方便管理將地面劃分不同區(qū)域進(jìn)行清掃。清掃應(yīng)從區(qū)域向一般區(qū)域方向進(jìn)行。在無塵室內(nèi)的清掃順序并不是一成不變的，在潔凈度要求很高的時(shí)候，有時(shí)要重復(fù)使用拖把，達(dá)到地面干凈。 清掃時(shí)，為了防止不經(jīng)意的危險(xiǎn)，遇到阻礙物要迂回擦拭。藥液和純水拖地之后用真空吸濕器將多余的水吸走，縮短干燥時(shí)間。對(duì)于去除地面頑固性臟污，采用水噴霧/擦洗+真空吸濕器清掃。

桌子、其他重要的水平接觸面

桌子、其他重要的水平接觸面按照以上介紹的清掃方法選擇合適的方式進(jìn)行。使用藥液從區(qū)域向一般區(qū)域方向擦拭，除去臟污。

椅子、家具
擦拭按從上到下的順序進(jìn)行。墊子、支架及車輪也在清掃的范圍之內(nèi)。

機(jī)械設(shè)備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時(shí)要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進(jìn)行清掃，防止危險(xiǎn)的發(fā)生。機(jī)械設(shè)備有很多與產(chǎn)品直接接觸的接觸面，好進(jìn)行等級(jí)劃分，根據(jù)潔凈度等級(jí)要求選擇合適的清掃方式，并對(duì)不同等級(jí)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)示，方便清掃正確進(jìn)行。
a)設(shè)備的外表面跟無塵室內(nèi)的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設(shè)備的內(nèi)表面分為設(shè)備內(nèi)壁和內(nèi)部設(shè)備接觸面。內(nèi)壁將重要的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域隔離開，內(nèi)壁的清掃應(yīng)該在內(nèi)部設(shè)備接觸面清潔之后再進(jìn)行清潔。內(nèi)部設(shè)備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養(yǎng)維護(hù)。
c)與產(chǎn)品接觸的接觸面是離產(chǎn)品近的地方，因此有產(chǎn)品在時(shí)不可按照清掃順序及流程進(jìn)行，需根據(jù)潔凈度要求進(jìn)行，并以文件方式規(guī)定。

清掃人員需要進(jìn)行必要的培訓(xùn)。各工站有的人員進(jìn)行清掃。的人員，經(jīng)過培訓(xùn)之后負(fù)責(zé)清掃工作也是很普遍的事情。

制定清掃流程
制定清掃流程是要先將各種無塵室的接觸面進(jìn)行等級(jí)分類，并了解不同表面的污染速度。清掃流程根據(jù)無塵室要求的潔凈度制定合適的清掃頻率。對(duì)表面污染進(jìn)行試驗(yàn)和評(píng)估之后，做成流程手冊(cè)。對(duì)無塵室內(nèi)的制造工程、產(chǎn)品要求事項(xiàng)、清掃頻率（每日一次/每周一次或其他頻率）等進(jìn)行相關(guān)規(guī)定。

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