廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設備維護：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

貴金屬回收是指從含貴金屬的廢料、廢液或廢棄物中提取金（Au）、銀（Ag）、鉑（Pt）、鈀（Pd）、銠（Rh）等稀有金屬的過程。由于貴金屬具有值、性及性，其回收不僅能創(chuàng)造經(jīng)濟價值，還能減少資源浪費與環(huán)境污染。

環(huán)保處理
回收過程中產(chǎn)生的廢液（如含酸、含氰、含重金屬離子）需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理，達到環(huán)保排放標準后排放。
固體廢料（如浸出后的殘渣）若仍含微量貴金屬或有害成分，需進一步安全處置（如固化、填埋）或二次回收。

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