SEM通過聚焦電子束掃描樣品表面，激發(fā)二次電子和背散射電子等信號(hào)，這些信號(hào)被轉(zhuǎn)換為圖像，從而揭示樣品的微觀形貌和結(jié)構(gòu)信息。

SEM+EDS分析技術(shù)可以用于研究生物樣品的微觀結(jié)構(gòu)和成分分布，為生物醫(yī)學(xué)研究和臨床診斷提供重要信息。

SEM+EDS分析技術(shù)可以用于分析地質(zhì)樣品的礦物成分和結(jié)構(gòu)特征，為地質(zhì)勘探和資源評(píng)價(jià)提供重要信息。
在SEM+EDS分析中，需要注意樣品的污染和損傷對(duì)分析結(jié)果的影響，需要采取適當(dāng)?shù)拇胧┍苊鈽悠肺廴竞蛽p傷。