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研究表明，影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度，氮分壓比、濺射電流為次要因素；氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大
利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備氮化鉭薄膜，對磁控反應(yīng)濺射制備氮化鉭薄膜的工藝參數(shù)（包括氮分壓比、加熱溫度、濺射壓力、濺射電流）用正交設(shè)計進(jìn)行優(yōu)化
氮化鉭---暗灰色粉末。六方晶結(jié)構(gòu)，晶格常數(shù)α=0.518nm。密度14.36g/cm3。熔點3090℃，電阻率(180±10) μΩ·cm。顯微硬度(106±75)MPa，超導(dǎo)轉(zhuǎn)變溫度1.2K。耐酸性能好，不溶于硝酸、鹽酸和氟氫酸，易被硫酸和硝酸和過氧化氫混合液氧化。易和碳化鉭生成類質(zhì)同晶混合物，和氮化鉿、碳化鉿互溶。在1400℃以上真空中加熱易分解。與氫氧化鉀作用分解放出氨。由五氯化鉭和氨氣反應(yīng)或700～1000℃下使鉭粉和氮氣反應(yīng)生成。冶金中利用氮化鉭分解制取高純鉭粉。利用其電阻溫度小的特點制造電阻薄膜器件。
【中文名稱】五氧化二鉭
【英文名稱】tantalic oxide; tantalum pentoxide
【結(jié)構(gòu)或分子式】 Ta2O5
【分子量】 441.89
【密度】8.2g/cm3
【熔點（℃）】1800
【性狀】
白色斜方晶體，菱形柱狀體。
【溶解情況】
溶于熔融硫酸氫鉀和氫氟酸,不溶于水和其他酸。
| 主營行業(yè)：錫條回收 |
| 公司主營：焊錫回收,錫條回收,錫塊回收,錫渣回收 |
| 采購產(chǎn)品：鎢鋼回收，焊錫回收，鉬絲回收， |
| 主營地區(qū)：上海 |
| 企業(yè)類型：私營獨資企業(yè) |
| 公司成立時間：2018-06-06 |
| 經(jīng)營模式：政府或其他機(jī)構(gòu) |
| 公司郵編：201100 |
| 公司傳真：183-21528586 |
| 公司郵箱：18321528586@163.com |
| 公司網(wǎng)站：www.18321528586.com |
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