深冷空分制氮是一種傳統(tǒng)的制氮方法，已有近幾十年的歷史。它是以空氣為原料，經(jīng)過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點(diǎn)不同(在1大氣壓下，前者的沸點(diǎn)為-183℃，后者的為-196℃)，通過液空的精餾，使它們分離來獲得氮?dú)狻?br/>
綜合設(shè)備、安裝及基建諸因素，3500Nm3/h以下的設(shè)備，相同規(guī)格的PSA裝置的投資規(guī)模要比深冷空分裝置低20%～50%。深冷空分制氮裝置宜于大規(guī)模工業(yè)制氮，而中、小規(guī)模制氮就顯得不經(jīng)濟(jì)。

以空氣為原料，在一定壓力條件下，利用氧和氮等不同性質(zhì)的氣體在膜中具有不同的滲透速率來使氧和氮分離。和其它制氮設(shè)備相比它具有結(jié)構(gòu)更為簡單、體積更小、無切換閥門、維護(hù)量更少、產(chǎn)氣更快(≤3分鐘)、增容方便等優(yōu)點(diǎn)，它特別適宜于氮?dú)饧兌取?8%的中、小型氮?dú)庥脩?，有佳功能價格比。而氮?dú)饧兌仍?8%以上時，它與相同規(guī)格的PSA制氮設(shè)備相比價格要高出15%以上。

在制氮、制氧領(lǐng)域內(nèi)使用較多的是碳分子篩和沸石分子篩。分子篩對氧和氮的分離作用主要是基于這兩種氣體在分子篩表面的擴(kuò)散速率不同，碳分子篩是一種兼具活性炭和分子篩某些特性的碳基吸附劑。碳分子篩具有很小微孔組成，孔徑分布在0.3nm ~ 1nm之間。較小直徑的氣體（氧氣）擴(kuò)散較快，較多進(jìn)入分子篩固相，這樣氣相中就可以得到氮的富集成分
如：放在杯子里的水，會因不斷蒸發(fā)變得愈來愈少。如果把純水放在一個密閉的容器里，并抽走上方的空氣。當(dāng)水不斷蒸發(fā)時，水面上方汽相的壓力，即水的蒸汽所具有的壓力就不斷增加。但是，當(dāng)溫度一定時，汽相壓力終將穩(wěn)定在一個固定的數(shù)值上，這時的汽相壓力稱為水在該溫度下的飽和蒸汽壓力。當(dāng)汽相壓力的數(shù)值達(dá)到飽和蒸汽壓力的數(shù)值時，液相的水分子仍然不斷地氣化，汽相的水分子也不斷地冷凝成液體，只是由于水的氣化速度等于水蒸氣的冷凝速度，液體量才沒有減少，氣體量也沒有增加，液體和氣體達(dá)到動態(tài)平衡狀態(tài)
毫米汞柱即毫米水銀柱（mmHg），是指直接用水銀柱高度的毫米數(shù)表示壓強(qiáng)值的單位，毫米與毫巴間可以進(jìn)行換算。