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設(shè)計與仿真編輯在直拉法生長硅單晶的過程中,硅單晶生長的成功與否以及質(zhì)量的高低是由熱場的溫度分布決定的。溫度分布合適的熱場,不僅硅單晶生長順利,而且品質(zhì)較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長硅單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量,情況嚴重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。因此在投資硅單晶生長企業(yè)的前期,一定要根據(jù)生長設(shè)備,配置出合理的熱場,從而保生產(chǎn)出來的硅單晶的品質(zhì)。在直拉硅單晶生長工藝中,一般采用溫度梯度來描述熱場的溫度分布情況,其中在固液界面處的溫度梯度為關(guān)鍵。數(shù)值模擬是在一個低成本的情況下,利用電腦計算提供的詳盡資料,用以支持真正的(且昂貴)實驗。
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為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進一步為了防止在副爐室移動到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托,所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動推桿、接晶托電機和固定管,所述電動推桿連接在副爐室旋臂上,所述提升桿連接在電動推桿的推桿上,以便通過推桿的升降帶動提升桿升降,所述接晶托電機連接在提升桿上,所述托板連接在接晶托電機的輸出軸上,以便通過接晶托電機驅(qū)動托板旋轉(zhuǎn),所述固定管套裝在提升桿和電動推桿的推桿的外側(cè),所述固定管連接在副爐室旋臂上。