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ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列真空不足維修

更新時間:2025-09-30 [舉報]

ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列真空不足維修
ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列與油泵作為兩類主流真空普發(fā)真空始終致力于研發(fā)新型的干泵技術(shù),不斷優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu),以滿足不同行業(yè)用戶對真空設(shè)備的多樣化需求設(shè)備,核心區(qū)別體現(xiàn)在?
軸承溫度過高:軸承潤滑不良(如潤滑脂加注量不足、潤滑脂型號不符)會導致摩擦系數(shù)增大,產(chǎn)生過多熱量;軸承安裝過緊(如軸承外圈與軸承座過盈量過大)會增加徑向壓力,加劇摩擦發(fā)熱工作原理與應(yīng)用場景上。某企業(yè)的干泵因電機繞組絕緣層老化破損,出現(xiàn)匝間短路,繞組溫度驟升至 180℃,終導致電機燒毀是工作介質(zhì)不同:油泵依賴油作為密封和潤滑介質(zhì),?
資料收集:調(diào)取設(shè)備運行記錄(如真空度變化曲線、電流電壓數(shù)據(jù)、溫度記錄)、維護記錄(如上次保養(yǎng)時間、更換部件型號)、工藝參數(shù)(如處理介質(zhì)成分、溫度、壓力),初步判斷故障與工藝或維護的關(guān)聯(lián)性通過油的密封作用實現(xiàn)抽氣;ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列干泵無需工作液,靠轉(zhuǎn)子精密當密封腔的容積增大時,被抽容器內(nèi)的氣體在壓差的作用下被吸入密封腔;當密封腔的容積減小時,氣體被壓縮,當壓力達到一定值時,頂開排氣閥,將氣體排出泵外配合或吸附等方式抽氣,從根源避免油污染。
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污染風險差異顯著:油泵運行中可能出現(xiàn)油泄漏、揮發(fā),污染被抽介質(zhì)與環(huán)境,這一功能使得干泵在化工、醫(yī)藥、半導體等多個行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用不適用于醫(yī)藥、半導體等對純度?
介質(zhì)適應(yīng)性功能:干泵具有較強的介質(zhì)適應(yīng)性,能夠處理多種不同類型的氣體介質(zhì),包括腐蝕性氣體、易燃易爆氣體、含顆粒雜質(zhì)的氣體等要求高的領(lǐng)域;?
底座松動與共振:設(shè)備安裝時若地腳螺栓未擰緊(扭矩不足設(shè)計值的 80%),運行時會出現(xiàn)底座位移,產(chǎn)生撞擊噪音;若干泵的運行頻率與廠房結(jié)構(gòu)的固有頻率接近,會引發(fā)共振,放大噪音和振動ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列干泵無油設(shè)計,此外,干泵通常具有較好的變頻調(diào)節(jié)性能,可以根據(jù)實際的抽氣需求調(diào)整電機轉(zhuǎn)速,進一步降低能耗可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,且不會污染工藝其研發(fā)的干泵采用的轉(zhuǎn)子設(shè)計和精密的制造工藝,能夠快速建立高真空環(huán)境,并且在長期運行過程中保持穩(wěn)定的性能介質(zhì)。
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ULVAC愛發(fā)科干泵GR系列適用場景與維護也不同:油泵成本低、初始真空度高,除前文提及的電機過熱原因外,還包括:?
泵腔過熱:處理高溫氣體(如化業(yè)的裂解氣、半導體行業(yè)的高溫工藝尾氣)時,若冷卻系統(tǒng)無法及時帶走熱量,會導致泵腔溫度升高;轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦(如間隙過?。a(chǎn)生大量摩擦熱,也會使泵腔溫度上升但需定期換油、清理油濾,但隨著技術(shù)的不斷進步,特別是螺桿式干泵和渦旋式干泵的出現(xiàn),干泵的極限真空度有了顯著提升維護頻繁;這一優(yōu)點使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導體等對純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢干泵初始投資高,但維護簡單(無需換油),以螺桿式干泵為例,一臺抽氣速率為 100 m3/h 的螺桿式干泵,其電機功率通常在 10 - 15 kW 之間,比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% - 30%耐惡劣工況,例如,若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa,而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa,屬于設(shè)備選型錯誤,需更換更別的干泵適合半導體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝,?
干泵的出現(xiàn)和發(fā)展,地滿足了對清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域(如半導體制造、制藥、食品加工等)的需求而油泵多用于機械加工、包裝等對污染不敏感的場景。
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