Hi，歡迎來到黃頁88網(wǎng)！
懸浮分子污染(AMC)4.1AMC的分類及控制要求情況AMC作為IC工廠所關(guān)心的問題于2年前先由日本人提出，近年來，IC生產(chǎn)園片直徑已達(dá)3mm，工藝加工尺寸(線寬)已小于.15m，在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的問題，已被清楚的認(rèn)識(shí)到，AMC的控制已由談?wù)撧D(zhuǎn)到需要實(shí)施。對(duì)于IC生產(chǎn)，AMC分為D四類，即：A酸性物質(zhì)，如Hcl等;B堿性物質(zhì)，如NH3等;C沸點(diǎn)室溫能在光潔表面冷凝的物質(zhì)，主要是碳?xì)浠衔?，某些工藝加工環(huán)境中的水蒸汽亦需要考慮;D摻雜物質(zhì)，能為園片表面吸附或與表面相互反應(yīng)的物質(zhì)，如砷、硼、磷等。噴嘴固定螺釘松動(dòng)：固緊噴嘴固定螺釘，到滿足行程要求。放大器有故障；檢查放大器是否有故障或更換之。氣阻堵塞：用Ф.12通針清除污物即可。排氣孔堵塞：器底座，有一噴嘴排氣孔，若不注意將其堵塞，器將停止工作。擋板杠桿連接彈簧變形或斷；打開器蓋更換之。永磁體放置位置不對(duì)改變永磁體磁極，看閥是否動(dòng)作。反饋杠桿脫落；重新調(diào)整平行度，看閥動(dòng)作情況。
