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進(jìn)一步為了方便外部加料器的移動(dòng)、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動(dòng)外部加料器升降的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)外部加料器旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述外部加料器通過加料器旋臂連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂升降，并通過加料器旋臂帶動(dòng)外部加料器升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋臂之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨加料器旋臂一起升降，并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂又帶動(dòng)外部加料器旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步提供了一種加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括升降絲桿、拖板和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，底座上設(shè)置有立柱，所述升降絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱上，所述拖板通過螺紋連接在升降絲桿上，所述加料器旋臂連接在拖板上，所述升降絲桿連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)升降絲桿旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為加料器旋臂的升降運(yùn)動(dòng)。

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直拉硅單晶熱場(chǎng)加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場(chǎng)及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場(chǎng)是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個(gè)溫度場(chǎng)系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場(chǎng)溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，整個(gè)爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外，整個(gè)爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方，即不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對(duì)加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕，還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上，從而確保了該爐的使用壽命，使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上，另外還可對(duì)硅晶體的生長過程起 到穩(wěn)定作用，使平均成品率從原來的65%提高68%以上，并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對(duì)通氣孔與該爐的 一對(duì)排氣口相 對(duì)設(shè)置，縮短了排氣管路，利于提高排氣效率。