產(chǎn)品規(guī)格及參數(shù)
型號/規(guī)格參數(shù)
| SMU-4030EA(2.5D)
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工 作 臺
| X/Y軸行程
| 400mm ╳ 300mm
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Z軸行程
| 調(diào)焦行程200mm,工作距離90mm
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大理石 臺面尺寸
| 560mm ╳ 460mm
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玻璃臺面尺寸
| 450mm ╳ 350mm
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傳動型式
| X/Y軸:采用交叉?zhèn)鲃訉?dǎo)軌+絲桿; Z軸:采用直線導(dǎo)軌+絲桿; X/Y/Z三軸進(jìn)口軸承
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光柵尺分辨率
| X/Y/Z三軸:0.001mm
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XY測量線性精度
| 3+L/200(μm)
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XY重復(fù)性精度
| 0.003mm
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驅(qū)動電機(jī)
| CNC伺服電機(jī)
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攝像機(jī)
| 千兆網(wǎng)彩色工業(yè)數(shù)字相機(jī)
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測量軟件
| INSPEC全自動影像測量軟件,編程操作簡單,易上手 (測量數(shù)據(jù)可按客戶報(bào)表格式導(dǎo)出或?qū)隡ES、QMS系統(tǒng))
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鏡頭
| 自動變倍鏡頭 光學(xué)放大倍率0.7-4.5X,影像放大倍率20-128X 可通過選配0.5X/2X物鏡,實(shí)現(xiàn)放大倍率10-64X/40-256X
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可選配
| 日本基恩士LK-G30鐳射激光
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英國雷尼紹MCP測針組
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光源系統(tǒng)
| 表面光源:三環(huán)LED冷光源、壽命長、亮度255級可調(diào)
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輪廓光源:LED白色冷光源、壽命長、亮度255級可調(diào)
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儀器外形尺寸(L*W*H)
| 950mm ╳ 1600mm ╳ 1600mm
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儀器重量
| 250kg
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13712649957