晶圓傳片設備主要由潔凈大氣機械手、晶圓載物臺、晶圓對準器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器組成一個高潔凈度的運行空間，工廠自動化系統(tǒng)調度天車將晶圓盒放在晶圓載物臺上，晶圓載物臺通過開盒裝置將晶圓盒打開，并將晶圓盒與設備的潔凈空間連通，晶圓載物臺在開盒時會掃描晶圓的位置并和工廠自動化系統(tǒng)中的晶圓位置進行校驗，校驗無誤后工廠自動化系統(tǒng)會發(fā)送任務到晶圓傳片設備，晶圓傳片設備會根據任務來對傳片、缺口和圓心對準、讀取ID、翻片、倒片等動作進行組合，任務結束后晶圓載物臺會掃描晶圓位置并關閉晶圓盒，工廠自動化系統(tǒng)會調度天車將晶圓盒取走到下程。晶圓傳片設備的應用可以使晶圓下線、傳片、翻片、出廠過程實現全自動化運行，可以顯著提升晶圓制造的效率和良率。

以穩(wěn)定的扭矩運轉的系統(tǒng)要求進給率、心軸速度和冷卻劑流量的穩(wěn)定。冷卻劑在刀片上施加阻力，它造成扭力。新一代的切片系統(tǒng)通過控制冷卻劑流量來保持穩(wěn)定的流速和阻力，從而保持冷卻劑扭矩影響穩(wěn)定。

當切片機有穩(wěn)定的冷卻劑流量和所有其它參數都受控制時，維持一個穩(wěn)定的扭矩。如果記錄，從穩(wěn)定扭矩的任何偏離都是由于不受控的因素。這些包括由于噴嘴堵塞的冷卻劑流量變化、噴嘴調整的變化、刀片對刀片的變化、刀片情況和操作員錯誤。