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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅動直流伺服電機均為進口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉下籽晶晃動小于2mm，適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。

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由于數(shù)值模擬提供了一個近似真實的過程，利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對晶體質量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節(jié)的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說，對于無經(jīng)驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優(yōu)化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。1、主機部分：機架，雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統(tǒng)\真空系統(tǒng)及自動爐壓檢測控制\水冷系統(tǒng)及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源：全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器，構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關（ZVS）及CPU控制技術，提高了電能轉換效率，不需要功率因數(shù)補償裝置。3、計算機控制系統(tǒng)：采用PLC和上位工業(yè)平板電腦PC機，配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑 ADC系統(tǒng)和具有知識產權的“全自動Cz法晶體生長SCADA監(jiān)控系統(tǒng)”，可實現(xiàn)從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩(wěn)定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。