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單晶硅生長爐的特點HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動，便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設(shè)備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質(zhì)量流量計控制流量。真空計結(jié)合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。

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所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿191、絲杠192、電機193和連接塊194，所述支撐桿191連接在化料器旋臂18上，所述絲杠192可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿191上，所述電機193連接在絲杠192上，所述連接塊194通過螺紋連接在絲杠192上，所述外部化料器7連接在連接塊194上，以便通過電機193驅(qū)動絲杠192旋轉(zhuǎn)，進而將絲杠192的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為連接塊194的直線運動，并通過所述連接塊194帶動外部化料器7升降。具體地，為了使得溶化后的硅料更好地進入主爐室坩堝21內(nèi)，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21之間還設(shè)置有用于導(dǎo)流溶化后的硅料的導(dǎo)流管20。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，從除塵區(qū)域經(jīng)上盤12 個圓孔進入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機理和過程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結(jié)構(gòu)簡單、經(jīng)濟性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應(yīng)該經(jīng)常性拆卸進行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術(shù)參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內(nèi)徑= á 270mm; 進氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內(nèi)、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機理便滿足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。