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進一步為了避免下驅動裝置受到外界震動的影響，進而保下驅動裝置的工作精，所述底座和下驅動裝置之間設置有減震裝置，所述下驅動裝置的底端設置有承載板，所述承載板通過少兩個螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對應的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅動裝置受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬浚宜錾蠝p震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎佑绊懙匠休d板。

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穿過所疼氣流導向裝置(20) 的中軸孔(2-1)，該爐的一對電極柱(15)分別穿過所述電極孔(2-2)， 該爐的排氣口 (13)與氣流導向裝置(20)的各通氣孔(2-3)相連通，氣 流導向裝置(20)的上端部(2-4)設于該爐的保溫筒(17)與發(fā)熱體(16) 之間。3、 根據(jù)權利要求2所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導向裝置(20)的中軸孔(2-1)與該爐的石墨中軸(21)活動密封連接。4、 根據(jù)權利要求2或3所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述 氣流導向裝置(20 )的電極孔(2-2 )分別與該爐的電極柱(15 )密封連接。5、 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，因此在投資單晶生長企業(yè)的前期，一定要根據(jù)生長設備，配置出合理的熱場，從而保生產(chǎn)出來的單晶的品質。在晶體生長分析與設計中，實驗與數(shù)值仿真是相輔相成的，其過程可以分為兩個部分：（1）在階段,利用引上法晶體生長實驗來進行數(shù)值模擬參數(shù)的調整（2）在第二階段,利用數(shù)值模擬是用來確定的晶體生長工藝參數(shù)。