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TD-800型軟軸提拉型單晶爐，是根據(jù)用戶實際需求研發(fā)的新產(chǎn)品。是在流動惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅半導(dǎo)體材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。它可以生產(chǎn)大規(guī)模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機系統(tǒng)包括：底座立柱、坩堝驅(qū)動裝置、主爐室、翻板閥室，副爐室，籽晶提升與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、液壓驅(qū)動裝置、真空系統(tǒng)，充氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。爐室結(jié)構(gòu)為頂升式，主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實現(xiàn)上移。爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動式翻板閥室，可在現(xiàn)場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，采用輻射管加熱，輻射管是由耐火陶瓷盤固定的電阻絲裝于一個密封耐熱鋼管中，這樣的結(jié)構(gòu)使爐內(nèi)氣氛對加熱元件不會有影響） 連續(xù)式電阻爐A． 推送式爐 B． 傳送帶式爐 C． 網(wǎng)帶爐（適用于薄小零件的退火、燒結(jié)、釬焊及固溶處理。結(jié)構(gòu)類似傳送帶式爐）D． 連續(xù)式轉(zhuǎn)筒爐 E． 輥底爐（料盤在輥子上運動）F． 轉(zhuǎn)底爐,

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原理簡介，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100mm 左右、直徑為3～5mm的細頸，用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯，這個過程是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個過程稱為放肩；接著，突然提高拉速進行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時，再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成，進行一定的保溫冷卻后可以取出。