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用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通,所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通,以便將硅料加加料坩堝62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內(nèi)。具體地,外部加料器6和外部化料器7之間設(shè)置有旋閥64,以便通過旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通,所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場73,所述裝料器71和加料坩堝62相連通,所述化料器坩堝72和裝料器71相連通,
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所述主爐室內(nèi)設(shè)置有主爐室坩堝,所述下驅(qū)動裝置和主爐室坩堝相連,以便通過下驅(qū)動裝置動主爐室坩堝升降,所述副爐室和主爐室相連通,所述上驅(qū)動裝置安裝在副爐室的上端,以便通過上驅(qū)動裝置驅(qū)動拉晶,它還包括:外部加料器,所述外部加料器內(nèi)設(shè)置有加料腔,所述加料腔內(nèi)設(shè)置有加料坩堝,所述外部加料器的蓋裝有上蓋;用于熔化硅料的外部化料器,所述外部化料器的和加料坩堝相連通,所述外部化料器的底端和主爐室坩堝相連通,以便將硅料加加料坩堝后,硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化,被熔化后的硅料流主爐室坩堝內(nèi)。進一步提供了外部化料器的具體結(jié)構(gòu),所述外部化料器包括裝料器、化料器坩堝和用于給化料器坩堝加熱以便硅料熔化的熱場,所述裝料器和加料坩堝相連通,所述化料器坩堝和裝料器相連通,所述熱場套裝在化料器坩堝的外側(cè),便硅料依次進入加料坩堝、裝料器和化料器坩堝,并在化料器坩堝內(nèi)經(jīng)熱場熔化后又進入主爐室坩堝。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,并在副爐室3移取晶位的過程中,通過電動接晶托防止晶棒掉落,安全;當不再繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7,進而方便拆爐和清理;本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進行減震,使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響,進而保晶棒質(zhì)量;本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩,進而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。