深圳GSI鉭鈮礦檢測技術(shù)有限公司擁有大型的實驗室,配備精良的測試儀器,與華南地區(qū)各實驗室存在廣泛的合作關(guān)系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測認(rèn)證通道;幫助客戶減少開發(fā)風(fēng)險、縮短產(chǎn)品研發(fā)周期、降低產(chǎn)品成本;及時獲得各國市場的準(zhǔn)入證。
深圳GSI鉭鈮礦化驗測試機構(gòu)"以"行為公正、方法科學(xué)、數(shù)據(jù)準(zhǔn)確、服務(wù)"為質(zhì)量方針,秉承"質(zhì)量,客戶至上"的服務(wù)宗旨,愿以準(zhǔn)確的檢驗、公正的、快捷的代理、滿意的咨詢竭誠為各行各業(yè)的顧客提供的質(zhì)量技術(shù)服務(wù),并不斷豐富服務(wù)內(nèi)容、完善服務(wù)手段、提高服務(wù)質(zhì)量,成為備受客戶信賴的技術(shù)合作伙伴。
研究表明,影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大
利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備了氮化鉭薄膜,利用TEM、XRD技術(shù)研究了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒細(xì)?。ǎ保叮睿碜笥遥?;同時還發(fā)現(xiàn),在一定工作壓力下,隨著氮分壓的提高,氮化物晶粒形成的取向改變,即平行于基體表面生長的晶面會有改變。
氮化鉭靶材合成
1、將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金屬鉭和氮氣為原料制備氮化鉭,反應(yīng)式如下:2Ta+N2=2TaN。
氮化鉭靶材----氮化鉭(Tantalum mononitride)是一種化工材料,分子式為TaN,分子量為194.95。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。 在制造集成電路的過程中,這些膜沉積在硅晶片的頂部,以形成薄膜表面貼裝電阻