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江蘇新北真空爐回收江蘇新北整流柜回收

更新時(shí)間:2025-10-08 [舉報(bào)]
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一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術(shù):目前,大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法,通常是生產(chǎn)完一爐后,等單晶爐冷卻后,再往主爐室坩堝內(nèi)裝料,進(jìn)行下一次生產(chǎn),這樣既浪費(fèi)了時(shí)間,又造成了熱量的流失,且在拉晶棒的過(guò)程中,不能進(jìn)行補(bǔ)料操作,在拉晶棒的后期階段,會(huì)因?yàn)楣枇现心承┰氐膿]發(fā)而影響晶棒后半部分的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種連續(xù)拉晶單晶爐,它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料,從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,減少了冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,也減少了熱量的流失。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅(qū)動(dòng)裝置和上驅(qū)動(dòng)裝置,所述主爐室和下驅(qū)動(dòng)裝置均安裝在底座上,
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進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并方便外部化料器的移動(dòng)、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂,所述底座上設(shè)置有立柱,所述化料器旋臂鉸接在立柱上,所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂上,所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上,以便在不繼續(xù)加料時(shí),通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置;和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu),所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊,所述支撐桿連接在化料器旋臂上,所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上,所述電機(jī)連接在絲杠上,所述連接塊通過(guò)螺紋連接在絲杠上,所述外部化料器連接在連接塊上,以便通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn),進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動(dòng),并通過(guò)所述連接塊帶動(dòng)外部化料器升降。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,美國(guó)國(guó)外以美國(guó)KAYEX為代表,生產(chǎn)全自動(dòng)硅單晶體生長(zhǎng)爐。KAYEX是目前世界上,進(jìn)的硅單晶體生長(zhǎng)爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場(chǎng),已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長(zhǎng)的硅晶體生長(zhǎng)爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過(guò)程由計(jì)算機(jī)實(shí)行全自動(dòng)控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長(zhǎng)內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

標(biāo)簽:真空爐回收
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