河北省邢臺市GB/T14601-2009氨雜質(zhì)含量檢測
好的。根據(jù)《GB/T 14601—2009 電子工業(yè)用氣體氨》的規(guī)定,該標準詳細描述了電子工業(yè)用氣體氨的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及產(chǎn)品的包裝、標志、運輸和貯存等要求。此標準適用于半導體工業(yè)中氮化硅和氮化鎵的化學氣相沉積過程,同時也可用于硅或氧化硅的處理。 對于 中的雜質(zhì)含量檢測,具體的內(nèi)容可以參考標準中的試驗方法部分。標準中會列出檢測各種雜質(zhì)(如氧氣、水分、油分等)的詳細步驟和要求,以確保氣體純度符合電子工業(yè)的需求。如果你需要更詳細的檢測方法或相關(guān)內(nèi)容,請查閱完整的標準文件。
標簽:氣體氨檢測電子工業(yè)氨雜質(zhì)檢測
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