隨著微觀領(lǐng)域中納米技術(shù)、激光技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、微電子技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)技術(shù)等研究的不斷深入,對(duì)精密定位技術(shù)水平的要求也越來(lái)越高。
精密位移定位技術(shù)根據(jù)定位行程的不同可分為,微行程和大行程定位技術(shù)。微行程定位技術(shù)是指幾納米至幾百微米的定位行程的精密定位;大行程定位技術(shù)是指幾毫米至幾百毫米的定位行程的精密定位。
由于大行程定位技術(shù)比微行程定位技術(shù)有較大的定位行程,所以大行程定位比微行程定位技術(shù)的應(yīng)用更廣泛...