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背壓法

背壓法氦質(zhì)譜檢漏檢漏過(guò)程主要包括三個(gè)步驟：充壓、凈化、檢漏

1）充壓：將被檢件放入充氦箱，充入一定壓力的氦氣，在規(guī)定的加氦時(shí)間內(nèi)，如果被檢件有漏孔，示漏氣體會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入到被檢件內(nèi)部。隨著時(shí)間的增加和充壓壓力的提高，這個(gè)被檢件內(nèi)部的示漏氣體分壓也會(huì)逐漸升高。

2）凈化。用干燥氮?dú)饣蚋稍锟諝獯党粰z件表面殘存的氦氣。如果被測(cè)件表面存在油脂或者水汽等異物，會(huì)導(dǎo)致氦媳婦，影響漏率測(cè)量。這個(gè)過(guò)程中，會(huì)有部分示漏氣體從被檢件內(nèi)經(jīng)漏孔流失，導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時(shí)間越長(zhǎng)，示漏氣體的分壓將越大。

3）檢漏。在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，放入測(cè)試室，用氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)定被檢件漏率。

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。