太倉提拉式長晶爐回收 plc編程回收附近
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TD-800型軟軸提拉型單晶爐,是根據(jù)用戶實(shí)際需求研發(fā)的新產(chǎn)品。是在流動惰性氣體環(huán)境中,以石墨電阻加熱器,將硅半導(dǎo)體材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。它可以生產(chǎn)大規(guī)模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機(jī)系統(tǒng)包括:底座立柱、坩堝驅(qū)動裝置、主爐室、翻板閥室,副爐室,籽晶提升與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動裝置、真空系統(tǒng),充氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。爐室結(jié)構(gòu)為頂升式,主爐室和副爐室開啟時(shí)由液壓傳動裝置實(shí)現(xiàn)上移。爐室和副爐室之間,設(shè)有浮動式翻板閥室,可在現(xiàn)場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,發(fā)明內(nèi)容、本發(fā)明的目的是提供一種易于及時(shí)排出爐內(nèi)的混合氣體,且可減少熱 能及消耗的直拉式單晶生長爐。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是提供一種直拉式單晶生長爐,其包括 輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器;其特征在于經(jīng)氬 氣輸入管輸入的氣壓為0. 8xl0a0. 9xl0a,流量為 30L/min。上述技術(shù)方案中,還包括設(shè)于直拉式單晶生長爐的坩堝支持器下方和 該爐底部的排氣口之間的氣流導(dǎo)向裝置;該氣流導(dǎo)向裝置為碗形,其包括 設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置底部的中軸孔、設(shè)于所述中軸孔兩側(cè)的 一對電極孔、 以及設(shè)于所述中軸孔兩側(cè)并與該爐的排氣口相對的通氣孔;該爐的石墨中 軸穿過所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔,該爐的 一對電極柱分別穿過所述電極 孔,該爐的排氣口與氣流導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通,氣流導(dǎo)向裝置的上 端部設(shè)于該爐的保溫筒與發(fā)熱體之間。

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單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與分析1 引 言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95%以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時(shí) ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產(chǎn)過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴(yán)格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質(zhì)量。對單晶硅生產(chǎn)過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進(jìn)行研究有實(shí)際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產(chǎn)中的作用。提拉桿的運(yùn)動是靠驅(qū)動電機(jī)通過減速器 ,再由齒輪齒條機(jī)構(gòu)帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運(yùn)動 ,而且當(dāng)提拉負(fù)載增大引起線速度為零時(shí) ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實(shí)際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術(shù)指標(biāo)是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范圍之內(nèi)實(shí)現(xiàn)無級可調(diào) ,線性精度大于± 2 %