探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個(gè)基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達(dá)到微米級(jí)。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測(cè)試的過(guò)程中,通常會(huì)使用探針來(lái)準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測(cè)試機(jī),以便檢測(cè)產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。
探針結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(如針形)作為半導(dǎo)體試驗(yàn)設(shè)備的關(guān)鍵部件、針頭材料(如鎢、鷸銅)、彈性大小等都會(huì)影響探針的穩(wěn)定性、細(xì)微性、信號(hào)傳導(dǎo)精度等,從而影響探針的測(cè)試精度。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測(cè)試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過(guò)程中。
探針的要求
(1)質(zhì)量問(wèn)題:在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問(wèn)題:在探針的制作過(guò)程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
鍍金探針廢料的收集是回收過(guò)程的首要步驟。廢料可以從電子制造廠、研究機(jī)構(gòu)和廢舊電子產(chǎn)品處理中心等渠道獲取。收集過(guò)程需要與這些機(jī)構(gòu)建立合作關(guān)系,確保廢料的穩(wěn)定供應(yīng)。
環(huán)保處理:廢料中的其他非金屬成分也需要得到妥善處理,以避免對(duì)環(huán)境造成污染。例如,廢酸可以通過(guò)中和和沉淀處理進(jìn)行無(wú)害化處理。廢水也需要經(jīng)過(guò)處理,以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。