IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調(diào)整。晶圓升降機構(gòu)就是品圓自動傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復(fù)定位精度將直接或間接影響 IC 的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。研究、高速度、高穩(wěn)定性的新型晶圓升降機構(gòu)可以提高生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,為 IC 制造提供有力保障。
集成電路行業(yè)發(fā)展迅速,對芯片產(chǎn)品的良率要求日益增高,晶圓測試能夠在芯片未進行切割、引線、封裝等多重后道工序加工前進行測試,減少不良品在后續(xù)加工中的嚴(yán)重浪費,所以急需晶圓測試設(shè)備達到高速、、高穩(wěn)定性的要求。晶圓測試設(shè)備達到高速、、高穩(wěn)定性的要求關(guān)鍵在于升降機構(gòu)。目前晶圓測試裝備采用的升降機構(gòu)頂升力較小,頂升穩(wěn)定性較差,精度低,而且有些頂升機構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制造成本尚。
有些機器具有緩沖存放系統(tǒng),使工藝過程總可以有新的晶圓準(zhǔn)備被加工(或給圖形化設(shè)備的放大掩模版),從而使機器的效率大化。這些稱為儲料器。操作員將片匣放在機器的上載器上,按下開始鍵,然后的工藝過程就交給機器來做。在300mm晶圓的水平,片匣可能會被一個單的晶圓承載器或輸運器所替代。